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ABB OA-ICOS 氣體分析儀采用離軸積分腔輸出光譜（OAICOS）技術(shù)，能夠高精度、高靈敏度地測量HF、HCL、NH3及H2O等氣體，適用于半導(dǎo)體晶圓廠的工藝流程檢測、氣相沉積室監(jiān)測及FOUP監(jiān)測。其多氣體配置、亞ppb級濃度測量能力及優(yōu)化的數(shù)據(jù)處理使其具備高性能和高安全性，支持Modbus TCP輸出和遠(yuǎn)程控制功能，操作簡便，維護(hù)需求低。
? 支持 HF、HCI、NH3 的單氣體或多氣體配置
? 提供高精度、準(zhǔn)確的 H2O 測量結(jié)果
? 提供 0-5V 和 4-20 mA 模擬輸出（標(biāo)配），可選Modbus TCP
? 優(yōu)化數(shù)據(jù)處理，在測量亞 ppb 級別濃度時，實(shí)現(xiàn)優(yōu)異性能
? 提供觸控數(shù)字顯示屏，顯示氣體濃度和分析儀的狀態(tài)
? 提供主要密碼保護(hù)，確保分析儀和數(shù)據(jù)安全
? 優(yōu)化的零氣性能，確?？煽康卮_認(rèn)過程事件
? 提供可定制的校準(zhǔn)套件和性能認(rèn)證文件包
? 堅固耐用；所需的維護(hù)工作少且花費(fèi)較低
? 可輕松更換長期受到污染的部件（過濾器）和正常老化部件（泵隔膜）
? 服務(wù)工程師可現(xiàn)場診斷并更換其他大多數(shù)部件
? 鏡面清潔可現(xiàn)場進(jìn)行，無需在工廠費(fèi)時維修
| 項目（氣體） | NH? | H?O |
|---|---|---|
| 精度 (1σ) | <1ppb (1秒) <0.3 ppb (10秒) <0.1 ppb (100秒) | <50 ppm (1秒) <20 ppm (10秒) <10 ppm (100秒) |
| 檢測限 (LOD) | 0.3 ppb (100秒) | 50 ppm (100秒) |
| 準(zhǔn)確性 * | ±0.3 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn) | >7,000 ppm = 1% FSD |
| 不同分析儀的結(jié)果差異 （相對于平均值，10秒） | ±0.4 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn) | ≤1000 ppm = ±10% |
| 線性測量范圍 | 高達(dá) 10,000 ppb | 高達(dá) 30,000 ppm |
| 樣品流量 (ppm) | 1.4-2.4 | |
| 響應(yīng)時間 (T??, T??) | 10秒 |
| 項目（氣體） | HCl** | HF | H?O |
|---|---|---|---|
| 精度 (1σ) | <0.3 ppb (1秒) <0.1 ppb (10秒) <0.035 ppb (100秒) | <0.1 ppb (1秒) <0.05 ppb (10秒) <0.025 ppb (100秒) | <25 ppm (1秒) <10 ppm (10秒) <5 ppm (100秒) |
| 檢測限 (LOD) | 0.1 ppb (100秒) | 0.075 ppm (100秒) | 25 ppm (100秒) |
| 準(zhǔn)確性 * | ±0.15 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn) | ±0.1 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn) | >7000 ppm = 1% FSD |
| 不同分析儀的結(jié)果差異 （相對于平均值，10秒） | ±0.2 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn) | ±0.2 ppb 或讀數(shù)的5%，以較高者為準(zhǔn) | ≤ 1000 ppm = ±10% |
| 線性測量范圍 | 高達(dá) 2,000 ppb | 高達(dá) 2,000 ppb | 高達(dá) 30,000 ppm |
| 樣品流量 (ppm) | 1.1-1.9 | ||
| 響應(yīng)時間 (T??, T??) | 25秒 | 25秒 |
* 適用于典型的半導(dǎo)體晶圓廠，在設(shè)定的19°C和23°C溫度范圍內(nèi)，在至少1小時內(nèi)，變化范圍在±1°C。
** HCl測量僅適用于GLA231-HFHC型號的分析儀。
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